一個(gè)強(qiáng)大的軟件解決方案——寬范圍硬件配置

吉時(shí)利的自動(dòng)特性分析套件（ACS）是一款靈活、交互式軟件測(cè)試環(huán)境，用于器件特性分析、參數(shù)測(cè)試、可靠性測(cè)試，甚至簡(jiǎn)單功能測(cè)試。ACS支持多種吉時(shí)利儀器和系統(tǒng)、硬件配置和測(cè)試設(shè)置，從QA實(shí)驗(yàn)室中使用的一些臺(tái)式儀器到全集成的自動(dòng)化機(jī)架式參數(shù)測(cè)試儀。此外，ACS軟件環(huán)境在不同硬件條件下能夠保持一致地運(yùn)行效率，大大減輕了從一個(gè)實(shí)驗(yàn)室或部門(mén)向另一個(gè)地方轉(zhuǎn)移測(cè)試所需的工作，簡(jiǎn)化了在不同系統(tǒng)之間對(duì)比測(cè)試結(jié)果的過(guò)程。ACS具有極強(qiáng)的測(cè)試和分析靈活性，對(duì)于新用戶(hù)無(wú)論其是否具有編程經(jīng)驗(yàn)，ACS直觀的GUI界面能夠簡(jiǎn)化測(cè)試儀器配置、測(cè)試設(shè)置、I-V測(cè)量、結(jié)果獲取和快速分析過(guò)程。

l 開(kāi)發(fā)和運(yùn)行器件級(jí)、site級(jí)、晶圓級(jí)和晶匣級(jí)測(cè)試

l 易用的測(cè)試項(xiàng)目，僅需很小改動(dòng)甚至無(wú)需修改

l 真并行測(cè)試

l 支持寬范圍儀器和探針

滿(mǎn)足晶圓級(jí)可靠性測(cè)試需求的可擴(kuò)展解決方案
ACS-2600-RTM

ACS晶圓級(jí)可靠性選件

吉時(shí)利自動(dòng)化參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)（ACS）中的晶圓級(jí)可靠性（WLR）測(cè)試子系統(tǒng)，使您獲取產(chǎn)品壽命預(yù)測(cè)的速度比傳統(tǒng)WLR測(cè)試方案快2-5倍。ACS-WLR軟件采用交互式接口，提供強(qiáng)大的應(yīng)力/測(cè)量時(shí)序定制工具，能夠測(cè)試器件可靠性（HCI、BTI等）、柵氧完整性（TDDB、JRAMP、VRAMP等）和金屬互連性（EM）。ACS軟件具有靈活的測(cè)試時(shí)序定制功能，支持前測(cè)試和后測(cè)試，以及內(nèi)應(yīng)力測(cè)試和應(yīng)力監(jiān)測(cè)功能。并集成了包含標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)提取算法的公式編輯器，使您只用點(diǎn)擊操作就能容易地進(jìn)行分析計(jì)算。

基于多臺(tái)2600A系列數(shù)字源表的系統(tǒng)架構(gòu)，使ACS實(shí)現(xiàn)將各個(gè)SMU配置為一個(gè)大規(guī)模、緊密協(xié)同的工作組進(jìn)行并行測(cè)試，或者配置為若干個(gè)較小規(guī)模的工作組并行測(cè)試多個(gè)器件。SMU的內(nèi)處理器和虛擬背叛融合了它們最佳的測(cè)量速度，具有精確的源/測(cè)量時(shí)序，這對(duì)于捕捉快速閃現(xiàn)的擊穿事件是至關(guān)重要的。

兼容JEDEC的WLR測(cè)試?yán)?，諸如熱載流子注入（HCI）已經(jīng)嵌入到ACS-2600-RTM中。值得注意的是，在此測(cè)試設(shè)置中如何將需要的全部測(cè)試參數(shù)包含在一個(gè)對(duì)話(huà)窗口中。不過(guò)，如果您的設(shè)備需要修改此標(biāo)準(zhǔn)例程，點(diǎn)擊屏幕上的Text標(biāo)簽定制圖形用戶(hù)界面（GUI）就能滿(mǎn)足您的具體要求。

ACS-2600-RTM包括范圍廣泛的分析工具和繪圖軟件，例如，HCI壽命測(cè)試結(jié)果的Weibull圖。還包括log-normal、log-log和其他繪制類(lèi)型等；內(nèi)建的繪圖工具可以提供定制繪圖?？筛鶕?jù)晶圓上所有元件的測(cè)試結(jié)果為晶圓圖著色，從而您能迅速、方便地定位生產(chǎn)工藝中存在的問(wèn)題。

l 可配置2-44條源-測(cè)量通道

l 兼容所有常用的晶圓探針臺(tái)

l 支持串行測(cè)試和并行測(cè)試

l 集成多個(gè)硅單元并行測(cè)試的功能

l 兼容JEDEC的全面測(cè)試套件

l 實(shí)時(shí)繪圖和繪制晶圓圖